?氮氣柜保存晶圓的要求

1. 保持常溫：氮氣柜應(yīng)該保持在常溫下，*得出現(xiàn)明顯的溫度波動。

2. 低濕度：晶圓保存需要保持低濕度，氮氣柜應(yīng)該保持較低的濕度，一般應(yīng)該低于10％。

3. 恒定氮氣流量：在保存晶圓的過程中，必須保持恒定的氮氣流量，以保持氣氛穩(wěn)定。

4. 防塵：氮氣柜保存晶圓時應(yīng)保持室內(nèi)清潔，避免灰塵、污染等造成晶圓表面的損傷。

5. 避免震動和沖擊：晶圓保存需要避免震動和沖擊，防止晶圓表面微結(jié)構(gòu)的變化。

6. 避免其他氣體混入：在使用氮氣柜保存晶圓時，應(yīng)避免其他氣體的混入，以保證氣氛的純凈度。

7. 定期清潔和維護：氮氣柜保存晶圓時，應(yīng)定期清潔和維護設(shè)備，保證氣氛純凈度和設(shè)備的正常運行。